商品编码 84862031.10  
商品名称 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（后道用）
商品描述 制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（后道用）
英文名称 Distributed repetitive lithography machine for manufacturing semiconductor devices or integrated circuits (for post-processing)
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HS编码 商品名称 商品规格
所属分类及章节、品目
类目 第十六类 机器、机械器具、电气设备及其零件；录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件（84~85章）
章节 第八十四章 核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件
品目「8486」 专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释九（三）规定的机器及装置；零件及附件
上一编码实例：84862031.00-制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机
下一编码实例：84862031.20-制造半导体器件或集成电路用分布重复光刻机（前道用 I 线光刻机）
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