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商品编码	84862041.00
商品名称	制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
商品描述	制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机
英文名称	Dry plasma etching for the manufacture of semiconductor devices or of electronic integrated circuis

HS编码 84862041.00 申报实例信息,收录数 42 条

HS编码	商品名称	商品规格
84862041.00	蚀刻设备(旧)	制造集成电路中晶圆表面薄膜蚀刻用\|蚀刻用\|TEL\|UM
84862041.00	等离子干法刻蚀设备	用于半导体机床电路工艺制造\|形成电子器件\|LAM\|45

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所属分类及章节、品目

类目	第十六类机器、机械器具、电气设备及其零件；录音机及放声机、电视图像、声音的录制和重放设备及其零件、附件（84~85章）
章节	第八十四章核反应堆、锅炉、机器、机械器具及其零件
品目「8486」	专用于或主要用于制造半导体单晶柱或晶圆、半导体器件、集成电路或平板显示器的机器及装置；本章注释九（三）规定的机器及装置；零件及附件

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